如何解決潔凈手術(shù)室凈化靜電所帶來的的困擾文章概要:潔凈的手術(shù)室在許多行業(yè)都是必不可少的,特別是在微電子行業(yè)有嚴(yán)格的要求,例如,生產(chǎn)**電子元件應(yīng)該有潔凈的工作環(huán)境,檢測部門在檢測時也需要有潔凈的工作滿足其功能的環(huán)境。為了使這種清潔的環(huán)境能夠滿足生產(chǎn),測試等方面的要求,應(yīng)該克服一個不可忽視的因素,那就是靜電。在手術(shù)室中生產(chǎn)的各種電氣元件基本上都
潔凈的手術(shù)室在許多行業(yè)都是必不可少的,特別是在微電子行業(yè)有嚴(yán)格的要求,例如,生產(chǎn)**電子元件應(yīng)該有潔凈的工作環(huán)境,檢測部門在檢測時也需要有潔凈的工作滿足其功能的環(huán)境。為了使這種清潔的環(huán)境能夠滿足生產(chǎn),測試等方面的要求,應(yīng)該克服一個不可忽視的因素,那就是靜電。
在手術(shù)室中生產(chǎn)的各種電氣元件基本上都需要防靜電,因為生產(chǎn)性能好的產(chǎn)品,如果存在靜電吸附,吸附的粉塵將成為擊穿中心,會使材料的*緣特性下降。組件,設(shè)備甚至墻壁或地板隨時可能產(chǎn)生靜電,靜電會產(chǎn)生靜電吸附現(xiàn)象,從而導(dǎo)致潔凈室的潔凈度下降。同時,當(dāng)清潔度降低時,空氣中的顆粒數(shù)量增加,這加劇了靜電吸附現(xiàn)象。
因此,潔凈手術(shù)室應(yīng)注意污染控制,同時應(yīng)注意防止靜電,以下從三個方面來描述靜電的預(yù)防。
1.防止在潔凈手術(shù)室中產(chǎn)生靜電
我們應(yīng)該設(shè)計和使用不易產(chǎn)生靜電或會迅速泄漏的材料。在過去的設(shè)計中我們?yōu)榱耸轨o電荷具有快速的逃逸路徑,往往只注意地板,即使用防靜電地板來消除靜電。并且將系統(tǒng)電阻限制為105-108歐姆作為靜態(tài)電阻的測量是不夠的。
現(xiàn)在歐美,日本等國在潔凈手術(shù)室的設(shè)計上不**于防靜電地板,潔凈手術(shù)室的隔斷,墻壁和潔凈的結(jié)構(gòu)體系也被考慮在內(nèi)。目前,在設(shè)計中,我們將充分考慮**的要求,例如噴涂靜電涂料,**蠟作為輔助措施或克服靜電的補救方法。使?jié)崈舻氖中g(shù)室不產(chǎn)生或產(chǎn)生很少的靜電。
2.控制潔凈手術(shù)室中的空氣,溫度和濕度
設(shè)計干凈的手術(shù)室時,通常會使用其固有條件消除靜電。由于空氣濕度在rh50%或在23℃左右,空氣的傳導(dǎo)形式將具有良好的**環(huán)境。在設(shè)計條件允許的情況下,盡可能將其關(guān)閉。使用離子發(fā)生器還可以消除靜電并防止產(chǎn)生靜電。
3.消除電體
進入潔凈手術(shù)室的人員應(yīng)該穿著防靜電清潔服,防靜電手套和防靜電鞋,以消除靜電。運輸中的車輛,例如手推車和箱子,也應(yīng)使用防靜電產(chǎn)品。
在許多情況下,靜電放電是不希望的,并且在有易燃易爆氣體的地方很容易導(dǎo)致危險的火災(zāi)。此外,潔凈手術(shù)室中的靜電會嚴(yán)重危害產(chǎn)品。因此,潔凈手術(shù)室中的靜電控制不容忽視。
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