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風淋室因為加工精度越來越精細！文章概要：干凈的空間溫濕度按照工藝原則來確定，但是在滿足工藝要求的前提，風淋室給人一種舒服感。同時也跟著壞境的的要求提高，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴格。具體工藝對溫度的要求當前還要改進，但作為總的原則來看，因為加工精度越來越精細，所以對溫度的要求越來越小。比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的工藝中，作為膜板資
干凈的空間溫濕度按照工藝原則來確定，但是在滿足工藝要求的前提，風淋室給人一種舒服感。同時也跟著壞境的的要求提高，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴格。具體工藝對溫度的要求當前還要改進，但作為總的原則來看，因為加工精度越來越精細，所以對溫度的要求越來越小。
比如在大規(guī)模集成電路出產(chǎn)的工藝中，作為膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就惹起了0.24um線性膨脹，所以必需有0.1度的恒溫。、
風淋室同時要求濕度值正常較低，由于人出汗當前，對產(chǎn)物將有污染，因為加工精度越來越精細，這種車間溫度不宜跨越25度，相對濕度跨越55%時，冷卻水管壁上會結露，若是產(chǎn)生在細密安裝或電路中，就會惹起各類變亂。相對濕度在50%時易生銹。
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